氧化鋁對空氣中的酸性組分( 例如SO2、NO2、Hcl等)部分可以吸附,而這些酸性組分對分子篩是有害的,因為它可以和分子篩吸附的水分生成酸,使分子篩的晶格受到破壞,即分子篩中毒,泰安氣體純化損分子篩對水較氧化鋁有較強的親合力,因而解吸時消耗的能量要多;用氧化鋁來去除水,可降低再生能耗。害了分子篩的性能。氣體純化公司采用雙層床后,預先用氧化鋁將水吸附,這就對分子篩起了良好的保護作用,延長分子篩的使用壽命。
半導體器件變得越來越小,幾何結構越來越復雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F在,即使氣體供應中有微量污染物,也會對芯片性能產生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。泰安氣體純化氣體和化學品的純度在先進半導體和存儲設備的性能和可靠性方面發揮著重要作用。氣體純化公司為了保持競爭力,許多半導體制造商提高了產量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
氣體純化公司首先使空氣通過過濾器除去塵埃等固體雜質,進入壓縮機壓縮,再經過分子篩凈化器除去水蒸氣和二氧化碳等雜質氣體。在這里分子篩可使氮氣、氧氣等較小分子通過,起到篩選分子的作用。然后進行冷卻、降壓,當溫度降至—170℃左右時,推薦氣體純化空氣開始部分液化進入精餾塔,根據空氣中各氣體的不同沸點進行分餾。液態氧的沸點比液態氮的沸點高,兩者相比液氮更易氣化。經多步分餾可以得到99%以上的純氧,同時得到氮氣和提取稀有氣體的原料。
泰安氣體純化催化劑:可以催化H2,CO,烴類等還原性氣體與O2結合生成水和CO2,一般用在雜質含量較高時,預處理掉大量的雜質。脫氧吸附劑:可以以化學反應的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般經此工序后產氣的純度已經足夠使用了。推薦氣體純化吸氣劑:吸氣劑可以去除掉除了氬氣,氦氣等惰性氣體以外的所有氣體。(有些特制吸氣劑也不會吸收H2)主要針對N2,CH4等。
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